VUV新聞
6月19日消息，俄羅斯科學院西伯利亞分校布德克爾核物理研究所(INP SB RAS)的專家與俄羅斯科學院加波諾夫 - 格列霍夫應用物理研究所聯邦研究中心(IAP RAS)的同事正共同研發一種用于制造明亮穩定的極真空紫外(VUV)光源的方案。這種光源是現代家用光刻機制造下一代微電路所必需的。當前，光刻技術廣泛應用于微電子器件生產，可在硅片表面形成尺寸達數納米的微結構。微電路尺寸縮小趨勢對相應技術提出要求，研制超強真空紫外(VUV)輻射源至關重...
2025-06-22
為一種高效的水質凈化手段，真空紫外(VUV)技術在水中有機污染物去除方面受到了廣泛關注。然而在實際應用過程中，VUV技術在去除目標污染物的同時可能會導致副產物的生成，如過氧化氫(H2O2)和亞硝酸根(NO2-)，對人體產生一定危害。
2021-02-02
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