X射線平板探測器，廣泛應(yīng)用于在安防、工業(yè)及醫(yī)療等方面。在醫(yī)療領(lǐng)域，更是囊括了除CT外的所有X線設(shè)備，包括DR、DRF(動態(tài)DR)、DM(乳腺)、CBCT(牙科CT)、DSA(介入、血管)、C型臂(外科)等等。

CMOS探測器，即互補金屬氧化物半導(dǎo)體，是組成芯片的基本單元。CMOS技術(shù)聽著很高級，其實離我們很近，幾乎所有手機的攝像頭都是基于CMOS圖像傳感器芯片，與CMOS平板異曲同工。

如果說制作TFT探測器像造電視，那么制作CMOS探測器更像造芯片。因為，與非晶硅/IGZO探測器的玻璃襯底不同，CMOS探測器的襯底是單晶硅，其電子遷移率是1400cm^2/VS，這是制作晶圓的重要材料。

Q1 怎么非晶硅、IGZO和CMOS都提及電子遷移率，這么重要嗎？

無論何種技術(shù)，都希望電子遷移率越快越好。因此，電子遷移率高，單個晶體管就可以做得更小，使顯示像素更小，圖像空間分辨率更高。
舉個形象的栗子，如果希望在規(guī)定時間內(nèi)運輸足夠多的煤炭到另一個城市，如果火車速度慢，就得多軌道多火車同時運輸，顯然這樣非常占地方(空間分辨率低)；如果車速足夠快，單節(jié)小火車也能搞定(空間分辨率高)。所以，“幸好”CMOS探測器比較貴，否則就沒其他技術(shù)啥事兒了。

Q2 那為什么CMOS探測器比較貴？

非晶硅/IGZO探測器的襯底是便宜的玻璃或者塑料，而CMOS探測器的襯底是昂貴的單晶硅晶圓；基于TFT的探測器可以實現(xiàn)低溫制備，而基于CMOS探測器的制備工藝溫度更高更復(fù)雜。

舉個例子，一臺65寸的液晶電視才3000多元，而一片Inter i9 CPU（尺寸：37.5mm x 37.5mm）同樣高達3000多元，一個20*20cm的CMOS平板的面積是一片i9 CPU的1000多倍。所以，CMOS平板探測器比較貴，不過大家都知道貴有貴的好。

所謂CMOS平板探測器，是指在一塊晶圓上集成光電二極管、尋址電路，以及更重要的放大器(這是與非晶硅/IGZO探測器的最大區(qū)別)，將信號放大后再傳輸?shù)酵饷妗Ｒ虼耍哂忻黠@優(yōu)于非晶硅探測器的低劑量DQE和更高的采集速度。 由于單晶硅的電子遷移速率更快，可以在光電二極管旁邊增加放大器電路，將信號放大后再傳輸?shù)酵饷妫@是CMOS平板與非晶硅或IGZO平板的最大區(qū)別。因此，CMOS探測器具有明顯優(yōu)于非晶硅/IGZO探測器的高分辨率、高采集速度、高低劑量DQE。